儀器設備

紅外線光譜儀FTIR

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掃描式電子顯微鏡(SEM) & 能量分散式x-ray元素分析儀(EDX)

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互連應力測試機

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絕緣劣化測試機

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X射線螢光分析儀

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原子吸收光譜儀(AA)

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